半導体関連システム実証センター（門真・美野島）
半導体関連システム実証センター（門真・美野島）
門真拠点では、プラズマダイシング実証エリアをはじめ、ドライエッチング実証エリア及びプラズマクリーニング実証エリアを設けております。
美野島拠点では、ダイボンディング・フリップチップ実証エリアを設けております。
評価を行うために必要な装置及び実証結果の検査装置を備え、お客様からデモのご要望をお受けいたします。
装置及び実証対応内容
門真拠点【プラズマダイシング実証エリア】
対応内容
直径200 ｍｍもしくは300 ｍｍサイズのウエハー向けプラズマダイシング実証（200 ｍｍ以下のサイズも対応可能）
主な装置
- プラズマダイサー APX300-DM
- 周辺加工機器
- バックグラインダー
ウエハーを所定の厚みまで薄化加工 - リソグラフィー
プラズマ照射の保護層をウエハー上に形成し、ダイシングの位置を決定 - レーザーパターニング
ダイシング用ラインの形成
- バックグラインダー
- 検査装置
加工段差・膜厚の測定や電子顕微鏡など
プラズマダイシング前後に必要な装置も完備し、一気通貫で実証対応致します。
門真拠点【プラズマクリーニング実証エリア】
対応内容
基板とウエハーのプラズマクリーニング効果実証
主な装置
- プラズマクリーナー PSX307（S typeとM type）、PSX307A
- 検査装置
水滴接触角測定、表面元素分析、膜厚測定、電子顕微鏡など。
美野島拠点【ダイボンディング・フリップチップボンディング実証エリア】
対応内容
ダイボンディング・フリップチップ実証
主な装置
- ダイボンダー MD-P200DA
- フリップチップボンダー MD-P200US2、MD-P300
- 検査装置
透過X線装置、ダイシェアテスター、金属顕微鏡など。
所在地
門真拠点
〒571-0056
大阪府門真市松葉町2番7号
美野島拠点
〒812-8531
福岡県福岡市博多区美野島4-1-62
デモのご依頼は当社の販売会社、営業担当までご連絡ください。
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