半導体関連システム – APX300-DM Plasma Dicer
プラズマダイサー APX300-DM
シングルチャンバー構成により、研究開発から量産まで幅広い用途に対応
APX300-DMは、プラズマによる化学反応プロセスを用いたプラズマダイシング装置です。
従来のブレードダイシングで発生するダスト・デブリ・振動・水圧がなく、よりクリーンで高品質な加工をご提供します。
従来のブレードダイシングで発生するダスト・デブリ・振動・水圧がなく、よりクリーンで高品質な加工をご提供します。
強み・特長
加工事例
その他、様々な加工事例
主な仕様
| APX300-DM Plasma Dicer | |
|---|---|
| プラズマ源 | ICP ( 誘導結合プラズマ ) |
| プロセスガス | 標準4系統 ( Max.6系統まで増設可：フッ素系ガス、Ar、O2、He等 ) |
| 処理対象ウエハ | 標準φ 200 mm 、またはφ 300 mm ( リングフレーム付き ) |
注釈
お問い合わせ窓口
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