半導体関連システム – PSX307/PSX307-HSA Plasma Cleaner
プラズマクリーナー PSX307/PSX307-HSA
自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナー
PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法により下記2種類のモデルが選択できます。
S type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
S type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
強み・特長
適用事例（基盤レベル）
接合性
密着性
メンテナンス支援 アプリケーション PSX307-HSA
プラズマクリーナー（PSX307）の設備状態を可視化し、予知保全を支援
- 設備状態変化をスコア化し、最適な時期でのメンテナンスを実現
- 最大100台まで状態確認が可能で計画的な運用が可能
- 既存のプラズマクリーナー（PSX307）に適用可能。特殊な改造は不要
設備（チャンバー）の汚れ度表示
設備（チャンバー）の汚れ度推移・関連度を表示
- 状態推移：過去30日間の状態を表示
- 汚れ関連度：影響を与えている部位を表示
システム構成
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関連ソリューション
主な仕様
| PSX307 Plasma Cleaner | |
|---|---|
| クリーニング方式 | 高周波平行平板逆スパッタ方式
|
| 放電用ガス | アルゴンガス ( オプション： 酸素 ) |
| 電源 | 単相 AC 200 V、 2.00 kVA ( ピーク時：5.00 kVA ) |
注釈
お問い合わせ窓口
各種ご相談は、下記までお問い合わせください。