仕様表

NM-EFP1A

高周波平行平板逆スパッタ方式

アルゴンガス ( オプション： 酸素 )

0.49 MPa以上、6.5 L / min ( A.N.R. )

単相 AC 200 V、 2.00 kVA ( ピーク時：5.00 kVA )

W 932 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 555 kg
W 2 113 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 850 kg（Sタイプ搬送系とローダー・アンローダーのオプション付き )
W 2 266 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 725 kg（Mタイプ搬送系とローダー・アンローダーのオプション付き )