半導体関連システム – PSX307A Plasma Cleaner
プラズマクリーナー PSX307A
自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナー
PSX307Aは自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、ウエハ仕様は最大φ300 mmウエハ（リング付き/無し）に対応、基板仕様は幅77.5 mmの基板が4枚同時に処理可能です。
強み・特長
適用事例
ウエハーレベルパッケージ
ダイアタッチ前のウエハー表面改質
フリップ実装前のバンプクリーニング
ウエハーバンプ上の モールド樹脂残渣除去
ビアホール内の 樹脂残渣除去（デスミア）
基盤レベル
接合性
密着性
関連ソリューション
主な仕様
| PSX307A Plasma Cleaner | |
|---|---|
| クリーニング方式 | 高周波平行平板逆スパッタ方式
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| 放電用ガス | アルゴン ( オプション：酸素、酸素 ＋ ヘリウム ) |
| 電源 | 単相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、 50 / 60 Hz、 6.0 kVA
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注釈
お問い合わせ窓口
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