PSX307A Plasma Cleaner
仕様表
| PSX307A Plasma Cleaner | |
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| 品番 | NM-EFP3A
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| クリーニング方式 | 高周波平行平板逆スパッタ方式
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| 放電用ガス | アルゴン ( オプション：酸素、酸素 ＋ ヘリウム ) |
| 空圧源 | 0.49 MPa、 50 L / min ( A.N.R. ) |
| 電源 | 単相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、 50 / 60 Hz、 6.0 kVA
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| 設備寸法 | W 900 mm × D 1 150 mm × H 1 650 mm |
| 質量 | 630 kg |
注釈
詳細は、仕様書を参照願います。
お客様ワークによる事前確認が必要です。