プラズマダイサー [ソリューション]

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機種	APX300-DM	APX300-PD
外観	シングルチャンバー構成により、研究開発から量産まで幅広い用途に対応	最大4チャンバー構成のマルチチャンバーシステム（クラス10対応）で量産ラインに最適
特長	超高密度 Enhanced-ICP プラズマ源を搭載し、ハイレートな高速加工を実現同一チャンバー内で異種材料の連続加工が可能（例：Si + 絶縁膜※） ※加工条件や材料特性により適用範囲が異なる場合があります。	Dual-Enhanced プラズマ源を搭載し、高密度プラズマの分布制御により優れた加工均一性を実現 In-Situ ウエハー温度測定機能を活用し、温度制御によるダメージレス高速加工を実現同一チャンバー内で異種材料の連続加工が可能（例：Si + 絶縁膜※） ※加工条件や材料特性により適用範囲が異なる場合があります。
対象ウエハー