プラズマクリーナー PSX307A
主な機能・特長
- 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
- 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
- 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
- オンライン化によるトレーサビリティ確保
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強み・特長
PSX307Aは自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、ウエハ仕様は最大φ300 mmウエハ（リング付き/無し）に対応、基板仕様は幅77.5 mmの基板が4枚同時に処理可能です。
適用事例
ウエハーレベルパッケージ
ダイアタッチ前のウエハー表面改質
フリップ実装前のバンプクリーニング
ウエハーバンプ上の モールド樹脂残渣除去
ビアホール内の 樹脂残渣除去（デスミア）
基盤レベル
接合性
密着性
関連ソリューション
展示会・セミナー情報
開催中のセミナーや展示会情報をまとめて掲載しています。また、過去のセミナーや展示会情報も掲載しています。