プラズマクリーナー PSX307の特長

プラズマクリーナー PSX307

概要

  • PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナー
  • ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択可能
  • 基板寸法により下記2種類のモデルが選択可能
    S type 基板寸法:L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
    M type 基板寸法:L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm

特長(PSX307シリーズ共通)

  • 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
  • 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
  • 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
  • オンライン化によるトレーサビリティ確保

用途例

  • ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上
  • モールド、アンダーフィルの密着性向上

PSX307カタログダウンロード

詳細資料ダウンロード

資料のダウンロードには会員登録が必要です。
会員登録後は弊社Webサイト上の資料を全て閲覧できます。

PSX307, PSX307Aの資料は左の詳細資料ダウンロードよりダウンロード下さい。

プラズマクリーニング適用例

接合性・密着性

お問い合わせ

ご相談窓口
各種ご相談は、下記までお問い合わせください。
受付時間 9:00~17:00(土日、祝日、年末年始、弊社所定の休日を除く)