プラズマクリーナー PSX307
メンテナンス支援 アプリケーション PSX307-HSA
プラズマクリーナー PSX307
主な機能・特長
- 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
- 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
- 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
- オンライン化によるトレーサビリティ確保
「プラズマクリーナー 設備状態分析アプリケーション」 カタログダウンロード
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強み・特長
PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法により下記2種類のモデルが選択できます。
S type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
適用事例（基盤レベル）
接合性
密着性
メンテナンス支援 アプリケーション PSX307-HSA
プラズマクリーナー（PSX307）の設備状態を可視化し、予知保全を支援
- 設備状態変化をスコア化し、最適な時期でのメンテナンスを実現
- 最大100台まで状態確認が可能で計画的な運用が可能
- 既存のプラズマクリーナー（PSX307）に適用可能。特殊な改造は不要
設備（チャンバー）の汚れ度表示
設備（チャンバー）の汚れ度推移・関連度を表示
- 状態推移：過去30日間の状態を表示
- 汚れ関連度：影響を与えている部位を表示
システム構成
関連ソリューション
展示会・セミナー情報
開催中のセミナーや展示会情報をまとめて掲載しています。また、過去のセミナーや展示会情報も掲載しています。