プラズマクリーナー PSX307の特長
概要
- PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナー
- ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択可能
- 基板寸法により下記2種類のモデルが選択可能
S type 基板寸法:L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M type 基板寸法:L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
特長(PSX307シリーズ共通)
- 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
- 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
- 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
- オンライン化によるトレーサビリティ確保
用途例
- ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上
- モールド、アンダーフィルの密着性向上