プラズマクリーナー PSX307/PSX307-HSA

プラズマクリーナー PSX307

PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法により下記2種類のモデルが選択できます。

S type 基板寸法:L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M type 基板寸法:L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm

特長(PSX307シリーズ共通)

  • 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
  • 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
  • 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
  • オンライン化によるトレーサビリティ確保

用途例

  • ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上
  • モールド、アンダーフィルの密着性向上

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「プラズマクリーナー PSX307」の特長・効果

適用事例(基盤レベル)


基板レベルへの適用事例

メンテナンス支援 アプリケーション(PSX307-HSA)

プラズマクリーナー(PSX307)の設備状態を可視化し、予知保全を支援New

  • 設備状態変化をスコア化し、最適な時期でのメンテナンスを実現
  • 最大100台まで状態確認が可能で計画的な運用が可能
  • 既存のプラズマクリーナー(PSX307)に適用可能。特殊な改造は不要

設備(チャンバー)の汚れ度表示

設備(チャンバー)の汚れ度表示

設備(チャンバー)の汚れ度推移・関連度を表示

設備(チャンバー)の汚れ度推移・関連度を表示
  • 状態推移:過去30日間の状態を表示
  • 汚れ関連度:影響を与えている部位を表示

システム構成


システム構成図

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