計測・測定システム
パナソニック製計測・測定システムの強み
世界最高水準の三次元測定機「UA3P」は多くの分野で適応が可能です。
- 超高精度な測定 （シングルナノ再現性を実現）
- 接触測定による絶対形状評価 （回転対称非球面・自由曲面）
- 複雑形状に対応する柔軟なNCパス
- 測定データから様々な解析を実現 （ex. Zerinike解析）
- 面間・外形偏心評価も可能 （ex. 非球面・自由曲面・ウェハレンズ）
- 複雑形状でも表面粗さ測定可能
- 設計式がなくても測定評価可能
- CADデータでの評価
- 自動測定による作業平準化・省人化
パナソニックの計測・測定システムの特長
座標測定技術
測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面（ミラー）で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3 nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。
- 座標軸による測定誤差：0.05 μm以内（～100 mm）、0.3 μm以内（～500 mm）
測定プローブ
超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。
- 測定力：0.15～0.30 mN（15～30 mgf）※UA3P-3100/4000は0.05～0.30 mN、UA3P-5000Hは0.10～0.30 mN
- スタイラス：先端角30度、r=2μmダイヤスタイラス使用可能
コア・ソフトウェア技術
簡単な操作で高精度な測定を実現。あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。
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