超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ

超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ

『測定できないモノは作れない』UA3Pは、さまざまな微細形状測定でナノ精度モノづくりをサポート。

スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティー、光通信、車載用HUDなどに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01 μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応します。


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「超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ」の特長・効果

超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの測定範囲

各種測定機の測定精度・適応分野


UA3Pの測定範囲

傾斜角70度で±0.10 μmの超高精度測定から□500 mmの大型部品測定までフルラインアップ


機種別測定エリア/精度


機種別 測定エリア/精度

 側面のみの機種(UA3P-L)も別途あり。


測定対象


モバイルレンズ レンズ用バレル DSLRレンズ
fθレンズ X線望遠ミラー レンズ金型
カメラ用レンズ トーリックレンズ金型 ステッパーレンズ

超高精度測定を実現するテクノロジー

座標測定技術


座標測定技術

測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面(ミラー)で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。

  • 座標軸による測定誤差
    0.05 μm以内(~100 mm)
    0.3 μm以内(~500 mm)
座標測定技術

上面測定プローブ/AFP

超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。

  • 測定力:0.15~0.30 mN(15~30 mgf)
    ※UA3P-3000は0.10~0.20 mN
  • スタイラス:先端角30度、r=2 μmダイヤスタイラス使用可能
上面測定プローブ/AFP

側面測定プローブ/ S-AFP

高精度に検出されたプローブミラーの傾きをXYステージにフィードバックし、低接触力(0.3 mN)のスキャン測定が可能です。
レンズ鏡筒(バレル)などの樹脂製品で変形無く測定が可能です。

  • 測定力:0.3 mN(30 mgf)
  • 測定精度:±0.15 μm(90°傾斜測定時)
  • 測定最大角度
    水平方向測定時45°~90°(水平面に対する角度)
    垂直方向測定時80°~90°(水平面に対する角度)
側面測定プローブ/ S-AFP

ソフトウェア

ソフトウェア

簡単な操作で、高速・高精度な測定を実現
あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。


上側面評価技術

上面測定データと側面測定データを合成し、側面基準でレンズや金型の光軸の偏心、傾きが評価可能

上側面評価技術

「超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ」 紹介動画

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