ドライエッチング装置 APX300(Sオプション)の訴求ポイント

APX300(Sオプション)

概要

  • APX300(Sオプション)は、化合物/不揮発性材料加工に特化したドライエッチング装置
  • Φ2”~8“ウェハ及び異形基板対応可能
  • 搬送方式は2種類選択可能(大気搬送・真空ロードロック)

特長

  • 2種類のプラズマ源により、高速加工・高精度加工に対応可能
    化合物材料の高速深堀加工(基板貫通等)、加工膜厚制御を実現
  • アッシャー室・リンス室の追加により、残渣・腐食の無いメタル加工を実現 
  • in-situの天板付着物除去機能で、不揮発性材料の安定加工が可能

用途

  • パワーデバイス・SAW・通信系デバイス、MEMS・センサー
    (SiC、GaN、GaAs、Al、Au、Pt、PZT等)

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