プラズマダイサー APX300（ダイサーモジュール）
プラズマダイサー APX300（ダイサーモジュール）の訴求ポイント
- ウエハ全面をダメージレスで一括ダイシングし、強度の高いチップ分割を実現
- パナソニック独自のプロセスで、様々な種類の半導体ウエハのダイシングが可能
- 生産量に応じて、シングルチャンバーシステムからマルチチャンバーシステムへ展開が可能
プラズマダイシング技術：ウエハーからのチップ切り出し工法革新
プラズマダイシング技術により、ダメージレスで、チップ取数アップ ・ 生産性アップを実現します