プラズマダイサー APX300-DM

APX300(ダイサーモジュール)

APX300-DMはプラズマによる化学反応プロセスを用いた加工であり、既存のブレードによるメカニカルなダスト・デブリ・振動・水圧が無く、クリーンな加工をご提案します。

  • ウエハ全面をダメージレスで一括ダイシングし、強度の高いチップ分割を実現
  • パナソニック独自のプロセスで、様々な種類の半導体ウエハのダイシングが可能
  • 生産量に応じて、シングルチャンバーシステムからマルチチャンバーシステムへ展開が可能

「プラズマダイサー APX300-DM」 カタログダウンロード

「プラズマダイサー APX300-DM」 詳細資料ダウンロード

資料のダウンロードには会員登録が必要です。
会員登録後は弊社Webサイト上の資料を全て閲覧できます。

APX300(ダイサーモジュール)の技術資料は左の詳細資料ダウンロードよりダウンロード下さい。

「プラズマダイサー APX300-DM」の特長・効果

プラズマダイシング技術:ウエハーからのチップ切り出し工法革新


プラズマダイシングによるモノづくり革新

展示会・セミナー情報

展示会・セミナーの紹介

開催中のセミナーや展示会情報をまとめて掲載しています。また、過去のセミナーや展示会情報も掲載しています。

展示会・セミナー一覧を見る

お問い合わせ

ご相談窓口
各種ご相談は、下記までお問い合わせください。
受付時間 9:00~17:00(土日、祝日、年末年始、弊社所定の休日を除く)