プラズマダイサー APX300-DM
APX300-DMはプラズマによる化学反応プロセスを用いた加工であり、既存のブレードによるメカニカルなダスト・デブリ・振動・水圧が無く、クリーンな加工をご提案します。
- シングルチャンバー構成で研究開発から量産まで幅広く対応可能
- 同一チャンバーで異なる材質の連続加工が可能（Si＋絶縁膜※ ）
- 200㎜リング付きウエハ/300㎜リングフレーム付きウエハに対応
※SiO2、SiN、etc
「プラズマダイサー APX300-DM」 カタログダウンロード
「プラズマダイサー APX300-DM」 詳細資料ダウンロード
資料のダウンロードには会員登録が必要です。
会員登録後は弊社Webサイト上の資料を全て閲覧できます。
展示会・セミナー情報
開催中のセミナーや展示会情報をまとめて掲載しています。また、過去のセミナーや展示会情報も掲載しています。