プラズマダイサー APX300(ダイサーモジュール)の訴求ポイント

APX300(ダイサーモジュール)
  • ウエハ全面をダメージレスで一括ダイシングし、強度の高いチップ分割を実現
  • パナソニック独自のプロセスで、様々な種類の半導体ウエハのダイシングが可能
  • 生産量に応じて、シングルチャンバーシステムからマルチチャンバーシステムへ展開が可能

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プラズマダイシング技術:ウエハーからのチップ切り出し工法革新

プラズマダイシング技術により、ダメージレスで、チップ取数アップ ・ 生産性アップを実現します


プラズマダイシングによるモノづくり革新

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