計測・測定システム – Ultrahigh accurate 3-D profilometer (UA3P)

超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ

ナノメートルレベルの精度を必要とする非球面レンズおよび金型、自由曲面光学系、ミラーおよびその他の精密部品の測定用に設計されています。

Ultrahigh accurate 3-D profilometer (UA3P)

スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティー、光通信、車載用HUDなどに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01 μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応します。

超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズのカタログでは、各機種の説明をしております。また、詳細資料では、超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの技術情報や活用事例を記載しております。

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傾斜角70度で±0.10 μmの超高精度測定から□500 mmの大型部品測定までフルラインアップ

側面のみの機種（UA3P-L）も別途あり。

測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面（ミラー）で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。

超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。

高精度に検出されたプローブミラーの傾きをXYステージにフィードバックし、低接触力（0.3 mN）のスキャン測定が可能です。
レンズ鏡筒（バレル）などの樹脂製品で変形無く測定が可能です。

簡単な操作で、高速・高精度な測定を実現
あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。

上面測定データと側面測定データを合成し、側面基準でレンズや金型の光軸の偏心、傾きが評価可能

	UA3P-3100	UA3P-4000	UA3P-5000H	UA3P-400T	UA3P-500H/550H	UA3P-650H	UA3P-700H	UA3P-300	UA3P-400
外形寸法(WXDXH) mm	760 x 860 x1580	1060 x 1200 x 1610	1300 x 1560 x 1900	1070 x 1230 x 1530	1260 x 1510 x 1580	2100 x 1830 x 2110	2100 x 1830 x 2200	700 x 800 x 1510	1010 x 1110 x 1450
本体質量	900kg (その他：200kg)	1500kg (その他：300kg)	3200kg（その他：300kg)	750kg	2400kg（その他：300kg)	8500kg（その他：300kg)	9000kg（その他：300kg)	700kg（その他：150kg)	1200kg（その他：150kg)
測定範囲 (X,Y,X軸）mm	3100-A30： 30 x 30 x 20 3100-A50： 50 x 50 x 20	4000-A100: 100 x 100 x 35 4000-A120: 120 x 120 x 35	200 X 200 X 50	100 x 100 x 50	200 x 200 x 45 UA3P-550H (+260 x 90 x 45)	400 x 400 x 120 +Φ500 x 120	500X500X 120	30 x 30 x 20	100 x 100 x 35
測定物設置セリア(X,Y,X軸）mm	130 x 130 x 120	210 x 210 x 127.5	300 x 300 x 255	200 x 200 x 140	300 x 270 x 252.5	600 x 600 x 330	600 x 600 x 330	100 x 100 x 120	220 x 220 x 132
分解能	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm

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