プラズマクリーナー PSX307A

概要

• PSX307Aは大型チャンバーを搭載する平行平板型プラズマクリーナー
• ウエハ仕様と基板仕様を選択可能
• ローダー・アンローダーとの連結により自動搬送可能
• ウエハ仕様は最大φ300㎜ウエハ（リング付き/無し）に対応可能
  基板仕様は幅77.5㎜の基板が4枚同時処理可能

特長（PSX307シリーズ共通）

• 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
• 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
• 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
• オンライン化によるトレーサビリティ確保

用途例

• ワイヤーボンディング、フリップチップ、ダイボンディングの接合性向上
• モールド、アンダーフィルの密着性向上
• ウェハモールディング後バンプ上の樹脂残渣除去（ウエハ仕様）
• デスミア/デスカム処理（ウエハ仕様）