プラズマクリーナー PSX307Aの訴求ポイント

PSX307A

概要

  • PSX307Aは大型チャンバーを搭載する平行平板型プラズマクリーナー
  • ウエハ仕様と基板仕様を選択可能
  • ローダー・アンローダーとの連結により自動搬送可能
  • ウエハ仕様は最大φ300㎜ウエハ(リング付き/無し)に対応可能
    基板仕様は幅77.5㎜の基板が4枚同時処理可能

特長(PSX307シリーズ共通)

  • 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
  • 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
  • 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
  • オンライン化によるトレーサビリティ確保

用途例

  • ワイヤーボンディング、フリップチップ、ダイボンディングの接合性向上
  • モールド、アンダーフィルの密着性向上
  • ウェハモールディング後バンプ上の樹脂残渣除去(ウエハ仕様)
  • デスミア/デスカム処理(ウエハ仕様)

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PSX307A適用事例

ウエハ―レベルモノづくりの接合性・密着性を支えるプラズマクリーニング技術


ダイアタッチ前のウエハー表面改善/フリップ実装前のバンプクリーニング/ウエハーモールドの樹脂残渣除去/デスミア

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