プラズマクリーナー PSX307Aの訴求ポイント
概要
- PSX307Aは大型チャンバーを搭載する平行平板型プラズマクリーナー
- ウエハ仕様と基板仕様を選択可能
- ローダー・アンローダーとの連結により自動搬送可能
- ウエハ仕様は最大φ300㎜ウエハ(リング付き/無し)に対応可能
基板仕様は幅77.5㎜の基板が4枚同時処理可能
特長(PSX307シリーズ共通)
- 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
- 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
- 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
- オンライン化によるトレーサビリティ確保
用途例
- ワイヤーボンディング、フリップチップ、ダイボンディングの接合性向上
- モールド、アンダーフィルの密着性向上
- ウェハモールディング後バンプ上の樹脂残渣除去(ウエハ仕様)
- デスミア/デスカム処理(ウエハ仕様)
PSX307A適用事例
ウエハ―レベルモノづくりの接合性・密着性を支えるプラズマクリーニング技術