プラズマクリーナー PSX307A
PSX307Aは自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、ウエハ仕様は最大φ300 mmウエハ（リング付き/無し）に対応、基板仕様は幅77.5 mmの基板が4枚同時に処理可能です。
特長（PSX307シリーズ共通）
- 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
- 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
- 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
- オンライン化によるトレーサビリティ確保
用途例
- ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上
- モールド、アンダーフィルの密着性向上
- ウェハモールディング後バンプ上の樹脂残渣除去（ウエハ仕様）
- デスミア/デスカム処理（ウエハ仕様）
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