您有过这样的困扰吗?

  • 希望提高引脚接合的可靠性
  • 希望提高底部填充胶的附着力
  • 希望通过晶圆清洗和改性提高倒装芯片性、焊料凸点性能和晶片贴装性能
  • 希望通过去除晶圆凸块上的模具树脂残渣来提高锡膏凸点质量
  • 希望通过去除通孔内的树脂残留物(Desmear处理)来提高焊盘质量

为改善各种工序的质量做出贡献

等离子在封装过程中的应用示例

▲等离子在封装过程中的应用示例

目标设备和产品封装一览表

  • 通过真空室大型化来增加可同时处理的基板数量,从而提高生产率
  • 独有的等离子监控功能,实时监控等离子稳定性,避免异常放电对基板的损害
  • 新的可追溯性功能可帮助确保工序质量
  • 支持φ300mm晶圆(带环/无环),为晶圆级PKG制造做出贡献
  • 通过等离子清洗、改性基板表面,改善金属连接性、树脂附着力
  • 提高各种金属引脚接合和倒装芯片接合的接合性
  • 大幅改善模具树脂密封材料和底部填充的附着力
  • 独有的等离子监控功能,实时监控等离子稳定性,避免异常放电对基板的损害

解决方案一览表

每个工序的等离子清洁机使用示例


1)确保了超薄镀金的引线接合性,品质稳定


确保了超薄镀金的引线接合性,品质稳定

2)倒装芯片接合,金-金、金-铜接合的接合质量稳定和凸块残留率提高约3倍


接合质量稳定
晶片剪切凸点残留率

3)模具树脂粘合强度提升约2倍,消除脱层,提高可靠性


模具树脂粘合强度

4)填充时间减少40% 生产率提高。圆角形状均匀、无洞,品质提升


填充时间减少40% 生产率提高

5)去除激光通孔后的胶渣,提高PoP接合性


去除激光通孔后的胶渣,提高PoP接合性

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