半导体相关系统 – PSX307A Plasma Cleaner
等离子清洁机 PSX307A
是附带自动传送的基板用平行平板型等离子清洁机
优势和特点
应用事例
晶圆级封装
芯片接合前的晶圆表面改质
倒装芯片接合前的锡球清洁
去除晶圆锡球上模组的树脂残渣
去除通孔内的树脂残渣 （除胶渣）
基础级
接合性
密闭性
解决方案
主要规格
| PSX307A Plasma Cleaner | |
|---|---|
| 清洁方式 | 高频率平行板反溅射方式
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| Gas for electrical discharge | 氩气 ( 选购件 : 氧气、氧气＋氦气 ) |
| 电源 | 单相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、 50 / 60 Hz、 6.0 kVA
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