Ultrahigh accurate 3-D profilometer (UA3P)
仕様表
| UA3P-3100 | UA3P-4000 | UA3P-5000H | UA3P-400T | UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | UA3P-300 | UA3P-400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 機種名 | UA3P-3100 | UA3P-4000 | UA3P-5000H | UA3P-400T | UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | UA3P-300 | UA3P-400 |
| 外形寸法(WXDXH) mm | 760 x 860 x1580
| 1060 x 1200 x 1610 | 1300 x 1560 x 1900 | 1070 x 1230 x 1530 | 1260 x 1510 x 1580 | 2100 x 1830 x 2110 | 2100 x 1830 x 2200 | 700 x 800 x 1510 | 1010 x 1110 x 1450 |
| 本体質量 | 900kg (その他：200kg)
| 1500kg (その他：300kg) | 3200kg（その他：300kg) | 750kg | 2400kg（その他：300kg) | 8500kg（その他：300kg) | 9000kg（その他：300kg) | 700kg（その他：150kg) | 1200kg（その他：150kg) |
| 測定範囲 (X,Y,X軸）mm | 3100-A30： 30 x 30 x 20 3100-A50： 50 x 50 x 20 | 4000-A100: 100 x 100 x 35 4000-A120: 120 x 120 x 35 | 200 X 200 X 50 | 100 x 100 x 50 | 200 x 200 x 45 UA3P-550H (+260 x 90 x 45) | 400 x 400 x 120 +Φ500 x 120 | 500X500X 120 | 30 x 30 x 20 | 100 x 100 x 35 |
| 測定物設置セリア(X,Y,X軸）mm | 130 x 130 x 120
| 210 x 210 x 127.5 | 300 x 300 x 255 | 200 x 200 x 140 | 300 x 270 x 252.5 | 600 x 600 x 330 | 600 x 600 x 330 | 100 x 100 x 120 | 220 x 220 x 132 |
| 分解能 | 0.3 nm
| 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm |
| 上面測定最大傾斜角度 | 75°
| 75° | 75° | 75° | 75° | 75° | 75° | 75° | 75° |
| 側面測定角度 | －
| － | － | 水平：45~90゜／垂直：80~90° | - | - | - | - | - |
| 上面プローブによる測定精度 | 30゜以下：土0.04µm（往復） 45゜以下：土0.05µm（往復） 60゜以下：土0.06µm（往復） 70゜以下：士0.08µm（往復） （参考）法線方向表示(Nd)の場合0~70゜：士0.05µm | 30゜以下：土0.05µm（往復） 45゜以下：土0.06µm（往復） 60゜以下：土0.07µm（往復） 70゜以下：士0.10µm（往復） （参考）法線方向表示(Nd)の場合0~70゜：士0.05µm | 30゜以下：土0.05µm（往復） 45゜以下：土0.06µm（往復） 60゜以下：土0.07µm（往復） 70゜以下：士0.10µm（往復） （参考）法線方向表示(Nd)の場合0~70゜：士0.05µm | 30゜以下：土0.05µm（往復） 45゜以下：士0.08µm（往復） 60゜以下：士0.15µm（往復） 70゜以下：士0.15µm（下り） | 30゜以下：士0.05µm（往復） 45゜以下：士0.08µm（往復） 60゜以下：士0.10µm（往復） 70゜以下：土0.15µm（下リ） | 30゜以下：士0.05µm（往復） 45゜以下：士0.08µm（往復） 60゜以下：士0.10µm（往復） 70゜以下：土0.15µm（下リ） | 30゜以下：士0.05µm（往復） 45゜以下：士0.08µm（往復） 60゜以下：士0.10µm（往復） 70゜以下：土0.15µm（下リ） | 30゜以下：士0.05µm（往復） 45゜以下：士0.08µm（往復） 60゜以下：士0.15µm（往復） 70゜以下：土0.15µm（下リ） | 30゜以下：士0.05µm（往復） 45゜以下：士0.08µm（往復） 60゜以下：士0.15µm（往復） 70゜以下：土0.15µm（下リ） |
| 座標軸による測定精度（XY軸測定精度） | 100mm以下：0.05µ m (再現精度0.05µm以内）
| 100mm以下：0.05µ m (再現精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m (再現精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m / 200mm以下：0.1µm / 400mm以下：0.2µ m / 500mm以下：0.3µm（再現精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m / 200mm以下：0.1µm / 400mm以下：0.2µ m / 500mm以下：0.3µm（再現精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m / 200mm以下：0.1µm / 400mm以下：0.2µ m / 500mm以下：0.3µm（再現精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m / 200mm以下：0.1µm （再現精度0.05µm以内） | 100mm以下：0.05µ m / 200mm以下：0.1µm （再現精度0.05µm以内） | |
| 測定速度 | 0.005~5mm/sec
| 0.01~10mm/sec | 0.02~20mm/sec | 上面0.01~10mm/sec,側面0.01~5mm/sec | 0.02~20mm/sec | 0.032~32mm/sec | 0.032~32mm/sec | 0.005~5mm/sec | 0.01~10mm/sec |
| 仕様環境 温度/湿度/振動 | 20~23℃（変動士0.5℃) /20~60% ／許容値1.0cm/S2(=1.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士0.5℃) /20~60% ／許容値1.0cm/S2(=1.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士0.5℃) /20~60% ／許容値1.0cm/S2(=1.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~25℃（変動士1℃) /20~60% ／許容値2.0cm/S2(=2.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士1℃) /20~60% ／許容値2.0cm/S2(=2.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士1℃) /20~60% ／許容値2.0cm/S2(=2.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士1℃) /20~60% ／許容値2.0cm/S2(=2.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士1℃) /20~60% ／許容値2.0cm/S2(=2.0ga|)推奨値0.5cm/S2 | 20~23℃（変動士1℃) /20~60% ／許容値2.0cm/S2(=2.0ga|)推奨値0.5cm/S2 |
| 所用電源 | AC100V土5%/ 14A
| AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A | AC100V土5%/ 14A |
| 空気圧：圧力 0.5MPa～1.0MPa 流量 | 150 L/min(ANR)
| 200 L/min(ANR) | 350 L/min(ANR) | 100 L/min(ANR) | 250L/min(ANR) | 450 L/min(ANR) | 450 L/min(ANR) | 100 L/min(ANR) | 150 L/min(ANR) |
| 標準付属品 | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、 プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、 プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、 プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、側面ルビースタイラスΦ2mm プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、側面ルビースタイラスΦ2mm プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、側面ルビースタイラスΦ2mm プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、側面ルビースタイラスΦ2mm プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、側面ルビースタイラスΦ2mm プローブ、校正用基準球、プリンター | 上面セラミックスタイラスR500µm、上面ダイヤスタイラスR2D60、側面ルビースタイラスΦ2mm プローブ、校正用基準球、プリンター |