等离子清洁机 PSX307A
PSX307是附带自动传送的基板用平行平板型等离子清洁机。有附带加载·卸载和在线规格可供选择,晶圆规格支持最大φ300 mm晶圆(有环/无环),基板规格可以同时处理4块宽度77.5 mm基板。
特点(PSX307系列共通)
- 兼顾面内均一性和蚀刻速率的反应槽构成
- 通过独家升降单元,可以应对有翘曲度的薄基板和背面有元件的基板
- 通过本公司独家的等离子显示器功能,避免异常放电,实现无损处理
- 通过在线化确保可追溯性
用途案例
- 提高引线键合、倒装芯片、粘接的接合性
- 提高模具、底部填充物的贴合性
- 去除晶圆成型后凸点上的树脂残渣(晶圆规格)
- 去胶渣/去浮渣处理(晶圆规格)
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展会和研讨会信息
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