超高精度三维测量仪 UA3P系列
“无法测量的产品就无法制造”UA3P通过各种细微形状测量，为纳米级精度的制造提供支持。
能够以最高0.01 μm的精度对智能手机、DSC、DVD和Blu-ray等数字家电、家居安防、光纤通信、车载HUD等中不可或缺的非球面镜片和自由曲面镜片及其模具进行测量。操作简单，并且还支持快速向加工端反馈。
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“超高精度三维测量仪 UA3P系列”的特点和效果
超高精度三维测量仪 UA3P系列的测量范围
各种测量仪的测量精度和适用领域
从以70度的倾斜角实现±0.10 μm的超高精度测量到□500 mm的大型元件测量，推出齐备的产品阵容
各机型测量区域/精度
另有仅侧面的机型（UA3P-L）在售。
测量对象
| 手机镜头 | 镜筒 | DSLR镜头 |
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| fθ镜头 | X光望远镜片 | 镜片模具 |
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| 照相机用镜头 | 复曲面镜片模具 | 步进镜头 |
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实现超高精度测量的技术
坐标测量技术
坐标测量技术
测量仪的坐标系由基台和独立的3块参照平面（镜片）构成，通过以频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法，以0.3 nm的分辨率对XYZ各轴进行测长。由此可以减少基台的直角度和真直度的影响，实现高精度测量。
- 坐标轴导致的测量误差
0.05 μm以内（～100 mm）
0.3 μm以内（～500 mm）
顶面测量探测器/AFP
能够以超低测量力实现测量物的高精度扫描测量。
使用微型空气滑块固定触针，通过对焦用激光检测触针的动作，根据测量物的形状跟随AFP的位置，确保测量力恒定。
- 测量力：0.15～0.30 mN（15～30 mgf）
※UA3P-3000为0.10～0.20 mN - 触针：可以使用前端角30度、r=2 μm的金刚石触针
侧面测量探测器/S-AFP
将高精度检测到的探测器镜面倾斜反馈至XY基台，实现低接触力（0.3 mN）的扫描测量。
可以无变形地测量镜筒等树脂制品。
- 测量力：0.3 mN（30 mgf）
- 测量精度：±0.15 μm（90°倾斜测量时）
- 测量最大角度
水平方向测量时45°～90°（相对于水平面的角度）
垂直方向测量时80°～90°（相对于水平面的角度）
软件
以简单的操作，实现高速、高精度的测量
可以支持所有设计信息，三维补正测量物的设置误差，实现正确的形状测量。
顶侧面评估技术
可以对顶面测量数据和侧面测量数据进行合成，以侧面基准评估镜头和模具的光轴的偏心和倾斜
“超高精度三维测量仪 UA3P系列”介绍视频
展会和研讨会信息
汇总刊载正在举办中的研讨会和展会信息。同时还会刊载过去的研讨会和展会信息。