计量和测量系统 – Ultrahigh accurate 3-D profilometer (UA3P)
超高精度三维测量仪 UA3P系列
专为测量需达到纳米级精度的非球面透镜及模具、自由曲面光学系统、反射镜以及其他精密零件而设计。
优势和特点
超高精度三维测量仪 UA3P系列的测量范围
各种测量仪的测量精度和适用领域
从以70度的倾斜角实现±0.10 μm的超高精度测量到□500 mm的大型元件测量，推出齐备的产品阵容
各机型测量区域/精度
另有仅侧面的机型（UA3P-L）在售。
测量对象
| 手机镜头 | 镜筒 | DSLR镜头 |
|---|---|---|
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| fθ镜头 | X光望远镜片 | 镜片模具 |
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| 照相机用镜头 | 复曲面镜片模具 | 步进镜头 |
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实现超高精度测量的技术
坐标测量技术
坐标测量技术
测量仪的坐标系由基台和独立的3块参照平面（镜片）构成，通过以频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法，以0.3 nm的分辨率对XYZ各轴进行测长。由此可以减少基台的直角度和真直度的影响，实现高精度测量。
- 坐标轴导致的测量误差
0.05 μm以内（～100 mm）
0.3 μm以内（～500 mm）
顶面测量探测器/AFP
能够以超低测量力实现测量物的高精度扫描测量。
使用微型空气滑块固定触针，通过对焦用激光检测触针的动作，根据测量物的形状跟随AFP的位置，确保测量力恒定。
- 测量力：0.15～0.30 mN（15～30 mgf）
※UA3P-3000为0.10～0.20 mN - 触针：可以使用前端角30度、r=2 μm的金刚石触针
侧面测量探测器/S-AFP
将高精度检测到的探测器镜面倾斜反馈至XY基台，实现低接触力（0.3 mN）的扫描测量。
可以无变形地测量镜筒等树脂制品。
- 测量力：0.3 mN（30 mgf）
- 测量精度：±0.15 μm（90°倾斜测量时）
- 测量最大角度
水平方向测量时45°～90°（相对于水平面的角度）
垂直方向测量时80°～90°（相对于水平面的角度）
软件
以简单的操作，实现高速、高精度的测量
可以支持所有设计信息，三维补正测量物的设置误差，实现正确的形状测量。
顶侧面评估技术
可以对顶面测量数据和侧面测量数据进行合成，以侧面基准评估镜头和模具的光轴的偏心和倾斜
主要规格
| UA3P-3100 | UA3P-4000 | UA3P-5000H | UA3P-400T | UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | UA3P-300 | UA3P-400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 外形尺寸(WXDXH) mm | 760 x 860 x1580
| 1060 x 1200 x 1610 | 1300 x 1560 x 1900 | 1070 x 1230 x 1530 | 1260 x 1510 x 1580 | 2100 x 1830 x 2110 | 2100 x 1830 x 2200 | 700 x 800 x 1510 | 1010 x 1110 x 1450 |
| 本体重量 | 900kg (其他：200kg)
| 1500kg (其他：300kg) | 3200kg (其他：300kg) | 750kg | 2400kg (其他：300kg) | 8500kg (其他：300kg) | 9000kg (其他：300kg) | 700kg（其他：150kg) | 1200kg（其他：150kg) |
| 测量范围(X,Y,Z轴）mm | 3100-A30： 30 x 30 x 20 3100-A50： 50 x 50 x 20 | 4000-A100: 100 x 100 x 35 4000-A120: 120 x 120 x 35 | 200 X 200 X 50 | 100 x 100 x 50 | 200 x 200 x 45 UA3P-550H (+260 x 90 x 45) | 400 x 400 x 120 +Φ500 x 120 | 500X500X 120 | 30 x 30 x 20 | 100 x 100 x 35 |
| 测量物设置区域(X,Y,Z轴）mm | 130 x 130 x 120
| 210 x 210 x 127.5 | 300 x 300 x 255 | 200 x 200 x 140 | 300 x 270 x 252.5 | 600 x 600 x 330 | 600 x 600 x 330 | 100 x 100 x 120 | 220 x 220 x 132 |
| 分辨率 | 0.3 nm
| 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm |