干式蚀刻装置 APX300（S标配选项）

APX300（S标配选项）是专精于化合物/非挥发性材料加工的干式蚀刻装置，支持Φ2”～8”晶圆以及异形基板。传送方式有2种可供选择。（大气环境下传送、真空加载锁定）

特点

• 通过2种离子源，可支持高速加工和高精度加工
  实现化合物材料的高速深挖加工（基板贯通等）、加工膜厚控制
• 通过追加引导室和清洗室，实现无残渣无腐蚀的金属加工
• 通过in-situ的顶板附着物去除功能，可实现非挥发性材料的稳定加工

用途

• 驱动元件·SAW·通信类元件、MEMS·传感器
  （SiC、GaN、GaAs、Al、Au、Pt、PZT等）