计量和测量系统 – Ultrahigh Accurate 3-D Profilometer (UA3P) Twin probe Type
超高精度三维测量仪 UA3P Twin探头(上表面、侧面测量仪)机型
适用于光电融合器件的测量
优势和特点
事例
V型槽测量
适用机型: 所有机型 ※根据测量尺寸选择最适合的机型。
可对光纤阵列 (fiber array) 或菲涅尔透镜 (Fresnel lens) 等V型槽的形状、角度及间距等进行评估。
MT插芯测量
适用机型: 400T
可对MT插芯的孔位及形状进行评估。可测量约80μm以内的孔。
主要规格
| UA3P-400T | |
|---|---|
| 外形尺寸(WXDXH) mm | 1070 x 1230 x 1530 |
| 本体重量 | 750kg |
| 测量范围(X,Y,Z轴）mm | 100 x 100 x 50 |
| 测量物设置区域(X,Y,Z轴）mm | 200 x 200 x 140 |
| 分辨率 | 0.3 nm |