计量和测量系统 – Ultrahigh Accurate 3-D Profilometer (UA3P) Standard Type
超高精度三维测量仪 UA3P 标准机型
适用于智能手机相机镜片的测量
优势和特点
实现超高精度测量的技术
坐标测量技术
测量仪的坐标系由基台和独立的3块参照平面（镜片）构成，通过以频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法，以0.3 nm的分辨率对XYZ各轴进行测长。由此可以减少基台的直角度和真直度的影响，实现高精度测量。
- 坐标轴导致的测量误差
0.05 μm以内（～100 mm）
0.3 μm以内（～500 mm）
顶面测量探测器/AFP
能够以超低测量力实现测量物的高精度扫描测量。
使用微型空气滑块固定触针，通过对焦用激光检测触针的动作，根据测量物的形状跟随AFP的位置，确保测量力恒定。
- 测量力：0.15～0.30 mN（15～30 mgf）
※UA3P-3000为0.10～0.20 mN - 触针：可以使用前端角30度、r=2 μm的金刚石触针
侧面测量探测器/S-AFP
将高精度检测到的探测器镜面倾斜反馈至XY基台，实现低接触力（0.3 mN）的扫描测量。
可以无变形地测量镜筒等树脂制品。
- 测量力：0.3 mN（30 mgf）
- 测量精度：±0.15 μm（90°倾斜测量时）
- 测量最大角度
水平方向测量时45°～90°（相对于水平面的角度）
垂直方向测量时80°～90°（相对于水平面的角度）
软件
以简单的操作，实现高速、高精度的测量
可以支持所有设计信息，三维补正测量物的设置误差，实现正确的形状测量。
主要规格
| UA3P-310 | UA3P-400 | |
|---|---|---|
| 外形尺寸(WXDXH) mm | 700 x 800 x 1540 | 1010 x 1110 x 1450 |
| 本体重量 | 700kg（其他：150kg) | 1200kg（其他：150kg) |
| 测量范围(X,Y,Z轴）mm | 50 x 50 x 20 | 100 x 100 x 35 |
| 测量物设置区域(X,Y,Z轴）mm | 100 x 100 x 120 | 220 x 220 x 177.5 |
| 分辨率 | 0.3 nm | 0.3 nm |