计量和测量系统 – Ultrahigh accurate 3-D profilometer (UA3P) Large-scale Type
超高精度三维测量仪 UA3P 大型机
适用于HUD和天文领域
优势和特点
晶圆镜片评价（WLG工艺）
主要规格
| UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸(WXDXH) mm | 1260 x 1510 x 1580 | 2100 x 1830 x 2110 | 2100 x 1830 x 2200 |
| 本体重量 | 2400kg (其他：300kg) | 8500kg (其他：300kg) | 9000kg (其他：300kg) |
| 测量范围(X,Y,Z轴）mm | 200 x 200 x 45 UA3P-550H (+260 x 90 x 45) | 400 x 400 x 120 +Φ500 x 120 | 500X500X 120 |
| 测量物设置区域(X,Y,Z轴）mm | 300 x 270 x 252.5 | 600 x 600 x 330 | 600 x 600 x 330 |
| 分辨率 | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm |