半导体相关系统 – APX300-DM Plasma Dicer
等离子切割机 APX300-DM
单式反应室构成，可实现从研发到批量生产的广泛应用
APX300-DM是使用等离子的化学反应进行加工的等离子切割机。与常规的割刀切割相比，不会产生械性灰尘、碎屑、振动、水压，提供清洁的高品质加工。
优势和特点
加工事例
その他、様々な加工事例
主要规格
| APX300-DM Plasma Dicer | |
|---|---|
| 等离子源 | ICP ( 电感耦合等离子体 ) |
| 工艺气体 | 标准4系统 ( 可增设Max.6系统 : 氟系气体 、Ar 、O2 、He等 ) |
| 对象晶圆 | 标准φ200 mm 、或者φ300 mm ( 含晶圆框架 ) |