倒装芯片接合机 MD-P300HS

デバイスボンダー MD-P300HS

全新倒装芯片接合机:提升半导体制造生产效率,实现高品质、高精度贴装

特点

  • 采用超声波技术进行低温接合,可减轻对芯片的损伤,并大幅缩短工艺时间。
  • 接合后的工序与传统设备及材料兼容,可以低成本导入。
  • 超声波技术的贴装精度从±5μm提升至±3μm,实现了FCBGA、FCCSP、光通信器件等新一代半导体封装的高性能化与薄型化。
  • 通过实时监控功能(载荷、电压/电流/功率、阻抗、锡球按压高度等),可检测接合过程中的异常,实现稳定的品质管理。

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“倒装芯片接合机 MD-P300HS”的特点和效果

1. 通过超声波接合提升生产效率

  • 超声波技术实现了低温接合,在减少对器件损伤和翘曲的同时,将为确保品质而采用热压接合工艺所需的10秒以上的处理时间,缩短到了2秒以内。

  • 接合后的工序可直接沿用传统的C4设备与材料,实现了低成本导入。

※基于本公司传统产品MD-P300(NM-EFF1C)的评估数据

超声波接合工艺

2. 提高贴装精度

  • 传统的超声波技术的贴装精度由±5μm提升至±3μm,可满足FCBGA(倒装芯片球栅格阵列封装)、FCCSP(倒装芯片尺寸级封装)及光通信器件等新一代半导体封装对高性能、薄型化的需求。

超声波接合工艺

3. 接合品质的可视化

  • 通过实时监控功能,可持续监测接合过程中的状态,对压力、电压/电流/功率、阻抗、锡球按压高度等工艺参数的异常进行实时反馈,从而实现稳定的品质管理。

监控功能

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