プラズマクリーナー [ソリューション]
プラズマクリーニングのプロセス
プラズマクリーニングの適用工程例①：基板クリーニング
運用例及び効果：
- 電極洗浄によりワイヤーボンディング性・フリップチップボンディング性向上
- 表面改質によりモールド密着性・アンダーフィル濡れ性向上
プラズマクリーニングの適用工程例②：ウエハクリーニング
運用例及び効果：
- ウエハ洗浄・改質によりフリップチップ性・半田バンピング性・ダイアタッチ性向上
- ウエハバンプ上のモールド樹脂残渣除去によりはんだバンプ品質向上
- ビアホール内の樹脂残渣除去（デスミア）によりパッド品質向上
プラズマクリーニングのアプリケーション
ワイヤーボンディングの接合信頼性向上
Memory
アンダーフィルの密着性向上
Processor
LEDパッケージングのシロキサン汚染除去
LED
バンプ接合性向上
SAW
RF module
プラズマクリーナーPSXシリーズの特長
プラズマモニターで薄基板の異常放電を回避
パナソニック特許技術
- 異常放電を回避し、不良基板の後工程流出を防ぎます。
- モニターのログ情報をワーク毎に記録できます（オプション）。
プロセス分析・ソリューション提案サービス
- お客様のお困りごとをご相談ください。
- 各種分析装置を駆使した実証で、プロセス改善をサポートします。